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弊社製品を利用した研究成果・研究論文

枚葉式半導体洗浄装置内に形成される渦の周期構造

岡山大学大学院河内 俊憲氏、福田 修也氏、中野 裕介氏、清水 義也氏、永田 靖典氏、柳瀬 眞一郎氏らによる論文です。


2015年日本機械学会にて発表されました。


弊社のハイスピードカメラHAS-D72と流体解析ソフトウェアFlonizer2Dが使用されました。

 

以下のリンク先からPDFが参照できます。

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