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枚葉式半導体洗浄機モデル内渦構造のPIV計測

岡山大学の柳瀬 眞一郎先生による論文で、ハイスピードカメラHAS-L1が使用されました。日本機械学会論文集に掲載されました。

 

(日本機械学会論文集Vol80.No.815.2014)

 

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