枚葉式半導体洗浄装置内に形成される渦の周期構造
岡山大学大学院河内 俊憲氏、福田 修也氏、中野 裕介氏、清水 義也氏、永田 靖典氏、柳瀬 眞一郎氏らによる論文です。
2015年日本機械学会にて発表されました。
弊社のハイスピードカメラHAS-D72と流体解析ソフトウェアFlonizer2Dが使用されました。
以下のリンク先からPDFが参照できます。
弊社製品を利用した研究成果・研究論文
岡山大学大学院河内 俊憲氏、福田 修也氏、中野 裕介氏、清水 義也氏、永田 靖典氏、柳瀬 眞一郎氏らによる論文です。
2015年日本機械学会にて発表されました。
弊社のハイスピードカメラHAS-D72と流体解析ソフトウェアFlonizer2Dが使用されました。
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